密析尔公司不断改进石英晶体振荡微平衡技术，最新研发了新产品QMA401。最新型的分析仪采用新一代的精密石英晶体传感器，确保高精度的测量，完全不受背景气体成分改变的影响。即使其他湿度技术在低于1ppm的微水领域表现不佳，采用行业认可的晶体振荡技术的最新产品QMA401，却可以提供高可靠性和简便的测量，并且大大降低用户的维护成本费用。

可靠性

为了保证高可靠性，QMA401的主要部件 — 湿度发生器，传感器和流量控制装置 — 确保了精确控温。确保样气或环境温度变化时，测量结果不受影响。这款分析仪采用质量流量计确保精确控制样气和标准气的流量，使流量精度不超过±0.1 ml/分钟。外加一个压力传感器，确保样气压力产生波动的情况下，这个系统也能持续保证测量和计算参数的精确度。

亮点

• 全量程从0.1 ~ 2000 ppmV 范围，实现高精度的测量

• 使用简便，现场维护方便快捷，维护成本低

• 精度高达 0.1ppmV或读数的10%，取较大值

• 针对变化中取样条件进行可靠的测量 — 根据样气压力和流量的变化进行自动调整

• 不受背景气体组分改变的影响

• 维护间隔时间长

• 十分钟时间就可以替换干燥筒

• 直观的菜单界面

• Ethernet或者 USB 数字通讯

• SD卡数据记录

• 可选内置取样系统和旁路

应用

• 高纯气生产

• 空分企业

• 半导体 CVD 洁净室

• 半导体蚀刻室

• 发电机氢冷装置

• 塑料粒子干燥

技术参数

性能

测量技术 快速响应的石英晶振技术

校验范围 0.1 ~ 700ppmV

测量范围 0.1 ~ 2000 ppmV

精度 0.1 ppmV （ 0.1 ~ 1 ppmV）

读数的 ±10%（1 ~ 2000 ppmV）

重复性 ±0.1 ppmV （ 0.1 ~ 1 ppmV）

读数的±5% （ 1 ~ 2000 ppmV）

最小测量值 0.1 ppmV

测量单位 ppmV, ppmW, mg/nm3, vapor pressure (Pa), frost point (°C), lb/MMscf

响应速度 T63 <2 分钟 T95 <5 分钟

自动校验 内部湿度发生器

可溯源到NPL 到 NIST

灵敏度 0.1 ppmV 或读数的1%，取较大值

电气参数

供电 85 ~ 264 V AC, 47/63Hz, 110 ~ 300 V DC

最大功耗 111 W

报警 1 x 系统报警，无电压转换(FORM C)

3 x 过程报警，可选各种参数，无电压转换

(FORM C)

通讯 模拟输出：4-20 mA或 1 ~ 5 V2种可选

数字通讯： RS485/USB Modbus RTU, Ethernet 

Modbus TCP

数据记录 直接记录到 SD 卡或通过 PC 应用软件传输

显示 7” 彩色LCD触摸屏

工作条件

进气压力 最大1 barg

可选高压版：最高300 barg

出气压力 大气压

样气流量 300ml/分钟，总流量 @ 大气压

样气温度 0 ~ +100°C

工作环境 +5 ~ +45°C，最高达到 90% RH

机械参数

外壳 19” x 4U x 434mm 外壳

气体接口 1/4” VCR(M)

重量 13.5kg